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国产28nm浸没式光刻机实现批量交付

Alpha 派 4 信息等级 4 1 噪音/剔除;2 较弱;3 普通事实;4 重要行业动态;5 极重大事件。该分数是信息显著性,不是投资建议。 抓取:2026-05-10 13:23
摘要

国产28nm浸没式光刻机(SSA800)实现首批批量交付,从研发验证阶段正式迈入商业化应用阶段,有助于解决国内成熟制程芯片制造的核心设备短板,推动半导体设备和材料产业链国产化。

客观事实
  • 国产28nm浸没式光刻机(SSA800)完成首批批量交付
  • 该光刻机从研发验证阶段进入商业化应用阶段
  • 有助于构建自主可控的成熟工艺产线,拉动产业链国产化
国产28nm浸没式光刻机 SSA800 国产光刻机

原文

5月10日,国产28nm浸没式光刻机(SSA800)完成首批批量交付,标志着其从“能用”的研发验证阶段正式迈入“可量产”的商业化应用阶段。这一进展解决了国内成熟制程芯片制造最核心的设备短板,意味着构建完全自主可控的成熟工艺产线成为可能,将系统性地拉动整个半导体设备和材料产业链的国产化需求。关注:茂莱光学(光刻机核心光学组件)、路维光电(光刻掩膜版),北方华创/中微公司/芯源微(光刻机突破带动成套国产设备需求放量),鼎龙股份/佳先股份(上游光刻胶及原材料国产化提速)